«Чистым» называют помещение, в воздухе которого число таких частиц, как пыль, аэрозоли, микроорганизмы, находится на очень низком, заранее заданном уровне. Помимо количества и размера таких частиц, в чистых помещениях https://ckto-promproekt.ru/ нередко контролируются и климатические параметры (температура и влажность воздуха). Первые такие комнаты появились благодаря нуждам электронной промышленности.
Основные требования к помещениям
Поскольку чистые комнаты применяются в различных отраслях промышленности и в медицине, требования к ним могут немного различаться. Но основной характеристикой в любом случае является число микрочастиц определённого размера, находящихся в воздухе. Классы чистоты устанавливаются серией ISO 14644. Так, например, если для класса 1 ISO в 1 м³ воздуха может содержаться не более 10 частиц размером 0,1 мкм и выше, то для класса 9 ISO возможно присутствие 293000 частиц размером от 5 мкм и значительно больше – мелких.
В микроэлектронике применяются чистые комнаты всех девяти существующих классов. Если, например, для производства жидкокристаллических дисплеев достаточно чистоты 4-5 класса, то при создании космических аппаратов для обеспечения их надёжной работы нередко требуется помещение 1-3 класса по ISO. К низшему, девятому классу, относят вспомогательные помещения, склады, раздевалки.
Пути достижения требуемого уровня чистоты
В помещениях для микроэлектроники применяются:
- несколько фильтров очистки воздуха;
- фальшпол;
- система, обеспечивающая избыточное давление в помещении;
- антистатические покрытия.
Соответствующим образом налаживается и работа инженерной инфраструктуры (водообеспечение, электропитание, система шлюзов и др.).
Специальную подготовку при входе в комнату проходят сотрудники. Существуют понятия «первого» и «второго» переодевания, предъявляются специфические требования к рабочей одежде. Запрещено пользоваться косметическими средствами. Перемещения сводятся к минимуму. Борьба со статическим электричеством проводится путём заземления мебели, ионизации воздуха, применения антистатической упаковки для изделий. |
